Máy lọc nước siêu tinh khiết cho vi điện tử 1.000L/H

Máy lọc nước siêu tinh khiết cho vi điện tử 1.000L/H đáp ứng các tiêu chuẩn ASTM và SEMI cho các nhà máy ngành công nghiệp bán dẫn.

Máy lọc nước siêu tinh khiết xử lý nước đầu vào đạt chất lượng cao áp dụng các quy trình và công nghệ xử lý nước để loại bỏ tạp chất, khoáng chất, vi sinh vật và các hóa chất hữu cơ và vô cơ.

Máy lọc nước siêu tinh khiết cho cho vi mạch điện tử 1.000L/H đảm bảo kiểm soát tốt các chỉ tiêu:

• Điện trở suất
• Oxy hòa tan (DO)
• Tổng lượng cacbon hữu cơ (TOC)
• Vi khuẩn
• Các ion
• Kim loại
• silica và boron
• Vật chất dạng hạt .

Quy trình xử lý nước cho vi mạch điện tử qua nhiều giai đoạn:

1. Tiền xử lý:

2. Xử lý nước bổ sung:

3. Vòng đánh bóng và phân phối::

Thông số kỹ thuật:

• Công suất: 1.000 L/H
• Điện trở suất: 16 – 18 MΩ
• TOC < 50 ppb