Máy lọc nước siêu tinh khiết cho sản xuất chất bán dẫn 500L/H

Máy lọc nước siêu tinh khiết cho sản xuất chất bán dẫn 500L/H cho nhiều mục đích khác nhau, từ làm mát thiết bị, khắc ướt, xử lý dung môi và san phẳng cơ học hóa học đến làm sạch bề mặt wafer.

Máy lọc nước siêu tinh khiết cho sản xuất chất bán dẫn 500L/H kiểm soát tốt các thông số này bao gồm:

• Điện trở suất
• Oxy hòa tan (DO)
• Tổng lượng cacbon hữu cơ (TOC)
• Vi khuẩn
• Các ion
• Kim loại
• Silica
• Vật chất dạng hạt .

Quy trình xử lý nước nhiều giai đoạn:

1. Tiền xử lý:

2. Xử lý nước bổ sung:

3. Vòng đánh bóng và phân phối::

Thông số kỹ thuật:

• Công suất: 500 L/H
• Điện trở suất: 4 – 18 MΩ
• TOC < 100 ppb