Máy lọc nước siêu tinh khiết là thiết bị quan trong trong phòng thí nghiệm, các nhà máy điện tử bán dẫn và nhiều lĩnh vực khác. Nước siêu tinh khiết loại bỏ hoàn toàn hay gần như hoàn toàn các chất gây ô nhiễm có trong nước.

Hệ thống máy lọc nước kiểu này loại bỏ các chất ô nhiễm hóa học qua quá trình khử ion và lọc nước bằng màng thẩm thấu ngược. Một máy cũng có thể loại bỏ vi khuẩn bằng đèn tia cực tím.

Các máy lọc nước siêu tinh khiết Kapano có thể thiết kế đạt đến độ tinh khiết với điện trở suất 18,2 MΩ.cm và có thể giảm các bon hữu cơ xuống dưới 50 ppb.

Một máy lọc nước tinh khiết bao gồm bộ phận lọc chuyên dụng loại bỏ  endotoxins, DNase và Rnase từ quá trình phân hủy xác vi khuẩn để nước đạt được mức TOC rất thấp.